由雷火竞技上海通用机械研究院自主研发的离心式双介质气体组合压缩机日前在江苏某全球领先的集成电路制造企业顺遂完成调试并投入使用，各项参数抵达设计要求，获得用户好评。
众所周知，半导体行业八大焦点质料中，电子气体是仅次于硅的主要原质料，其在半导体晶圆制造质料价值中的占比为13.5%。电子气体在电子产品制造工艺中普遍应用于离子注入、刻蚀、气相、沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等质料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关，而高纯度/超高纯度氮是电子气体中极其主要的成员之一，其在惰性掩护、载气、特种气体、管道吹扫排气、稀释、等离子注入等半导体生产工艺环节中都是不可或缺的质料气和工艺气。而离心式双介质气体组合压缩机组则是高纯氮生产工艺中的焦点装备。恒久以来其该类型压缩机市场一直由美国企业所垄断。
本次乐成投运的机组是雷火竞技制造、完全自主知识产权的国产首台套该类型压缩机，其使用于一天下500强国际着名气体公司的制氮系统之中，这也是这家企业首次与中国压缩机厂商举行相助。本次投运乐成，极大的提升了该公司高纯氮制备系统的市场竞争力。这是双方四年配合起劲的效果。
与此同时，两套运用于国产高纯氮制备系统的该类型压缩机调试事情也已收尾，各项参数抵达设计需求，甚至部分参数逾越了设计需求.
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已往二十年里，雷火竞技一连在焦点手艺上举行大强度投入，逐步在螺杆、透平、往复等种种型压缩机、膨胀机、真空泵等诸多领域构建起一定手艺优势。在现在“国产化”需求日益高涨的配景之下，这种手艺优势使得我们的中国用户不但不会因“国产化”去牺牲所需装备的品质，反而“国产化”后获得了更可靠的产品质量和更低的能源消耗。而关于我们的国际用户则是发明以雷火竞技为代表的中国装备为他们带来了更大的获益。本次离心式双介质气体组合压缩机的投运乐成只是前述文字一个小小的例证吧。